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洁净室环境监测

    洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

    洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。

    世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
    209E209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1M1.5M2.5M3..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.52.53.5.表示。
    美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1Class 2Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。


洁净室雷电竞登录入口项目:

    悬浮粒子数、浮游菌、沉降菌、温度、相对湿度、换气次数、风量、风速、静压差、照度、噪声等。

 

主要标准:

《洁净室施工及验收规范》                     GB 50591-2010

《医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法》   GB/T 16292-1996

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